|  | 

Edukacja i Nauka

Metalizacja wielopoziomowa

Metalizacja wielopoziomowa
0 votes, 0.00 avg. rating (0% score)

Metalizację wielopoziomową stosuje się w celu zwiększenia gęstości upakowania, szybkości działania oraz uzysku w procesie wytwarzania układów scalonych. Zwiększenie uzysku przez zmniejszenie powierzchni struktury oraz zwiększenie stopnia upakowania struktur układów scalonych na płytce krzemowej daje w efekcie zmniejszenie kosztów produkcji. Zysk otrzymany w wyniku zwiększenia gęstości upakowania na płytce krzemowej jest znacznie większy niż koszty dodatkowych procesów technologicznych wymaganych dla otrzymania metalizacji wielopoziomowej. W porównaniu z konwencjonalnymi systemami kontaktów i połączeń cienkowarstwowych, metalizacja wielopoziomowa wymaga opanowania bardzo skomplikowanych problemów związanych z następującymi procesami: ? osadzania próżniowego warstw metalicznych o dużej czystości, o pozbawionej defektów strukturze objętościowej i powierzchni oraz o małych naprężeniach; efekty związane ze stabilnością układu Si?SiO2, zwarcia i upłynności pomiędzy poszczególnymi poziomami metalizacji, zwarcia i upływności powierzchniowe pomiędzy sąsiednimi ścieżkami tego samego poziomu metalizacji, ? przerwy lub znaczny wzrost rezystancji połączeń metalicznych .

Przeczytaj także: Warstwy zabiezpieczające

 

Zadaniem warstw dielektrycznych stosowanych w technologii układów scalonych jest często ochrona materiałów lub struktur, na które są nałożone, przed wpływami czynników zewnętrznych. Mogą one np. chronić przed działaniem atmosfery otaczającej, przed możliwością uszkodzeń mechanicznych , a niekiedy również przed działaniem niektórych typów promieniowania. W przypadku klasycznej technologii planarnej ochrona powierzchni krzemu przed działaniem atmosfery, otaczającej jest jednym z licznych zadań warstwy dwutlenku krzemu pozostawionej na powierzchni gotowego elementu lub układu scalonego. Często jednak warstwy dielektryczne stosuje się wyłącznie w celu mechanicznego i/lub chemicznego zabezpieczenia przyrządu lub niektórych jego elementów. Typowym przykładem takich zastosowań są warstwy dielektryczne nakładane na gotowe struktury układów scalonych w celu zabezpieczenia połączeń metalowych przed możliwością mechanicznego uszkodzenia w czasie montażu układu i/lub przed działaniem otaczającej atmosfery. W odróżnieniu do omawianych poprzednio warstw dielektrycznych jako zabezpieczające stosuje się najczęściej warstwy grube, tzn. o grubości 1 mm.

Inne wpisy:

metalizacja-wielopoziomowa

ABOUT THE AUTHOR

Podobne wpsiy:

  • Mały model odrzutowca

    Mały model odrzutowca

    Mały model odrzutowca Jestem rozbawiony słuchając, jak ludzie próbują opisać niektóre z moich iluzji. Kiedyś, gdy byłem w Madrasie w Indiach, pokazywałem, jak sprawiam, że moja córka unosi się wewnątrz szkieletu wielkiej piramidy. Następnego dnia kelnerka z podnieceniem opowiadała mi, co kilkoro jej klientów powiedziało o moim pokazie. Według nich nie tylko sprawiłem, że córka

  • Media zwalczające zbrodnie

    Media zwalczające zbrodnie

    Media zwalczające zbrodnie Frazier cytuje artykuł z „California Living”, niedzielnego dodatku do gazet, takich jak: „Examiner” i „Chronicie” w San Francisco i „Los Angeles Herald Examiner”. Artykuł „Znajdowanie ciał przez media” z 9 marca 1980 roku donosi o przypadkach, kiedy media rzekomo pomogły policji wyjaśnić przestępstwa. Frazier zwraca uwagę na braki tych relacji, w których